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硅晶體

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2寸/4寸/6寸/8寸/12寸單晶硅片

產(chǎn)品材質(zhì):
產(chǎn)品型號/尺寸:P型/N型單拋硅片
最小起訂量:25
關(guān)注度:1321
產(chǎn)品詳情

       上海鑫科匯信息技術(shù)有限公司是國內(nèi)專業(yè)生產(chǎn)藍(lán)寶石晶體,碳化硅單晶,單晶硅片,以及InP,ZnSe窗口,鍺窗口材料等。公司擁有自己的工廠分別位于江蘇無錫和湖北武漢,是國內(nèi)較早專業(yè)提供半導(dǎo)體晶圓的公司。

        其中,單晶硅產(chǎn)品主要包括:2寸、4寸、6寸、8寸、12寸等尺寸齊全,P型、N型,晶向110,111,能夠滿足不同客戶用途的需求。科大量現(xiàn)貨供應(yīng)。部分產(chǎn)品的參數(shù)表如下:

        

上海鑫科匯新材料有限公司 產(chǎn)品規(guī)格書

shanghai xinkehui new material  Co., Ltd Product Spec.

產(chǎn)品名稱/ Product

4 英寸單拋硅片

版本

A

規(guī)格號 /Spe. No.

JX-2019-05-13-06

編制日期 /Date

2019-05-13

項目/ Exam Item

規(guī)格/Spec.

備注/ Remark

1.1 晶體參數(shù) Cryscal

拉晶方式/ Growth method

CZ

/

晶向及偏離度/ Orientation

<100>/<110>

/

1.2 電學(xué)參數(shù) Electrical

型號 / Type

/P

/

摻雜劑 /Doping

/B

/

電阻率 Resistivity (ohm-cm)

見硅片外包裝標(biāo)注值電阻率判定標(biāo)準(zhǔn):中心點(diǎn)

電阻率徑向變化 Resistivity

variation (%)

15%

測試方法:國標(biāo) B方案

計算公式:(Pmax-Pmin)/Pmin

壽命 /   Minority-Carrier

Lifetime (us)

/

/

1.3 結(jié)構(gòu)參數(shù) Structural

位錯密度 Dislocation Density

(ea/cm2)

free

/

微缺陷

free

/

氧含量 Oxygen Conc.   (atm/cm3)

8.00E+17

/

氧的徑向梯度

/

/

碳含量 Carbon Conc.   (atm/cm3)

5.00E+16

/

1.4 機(jī)械參數(shù) Mechanical

直徑及公差/ Diameter (mm)

100±0.2

/

主參考面

Primary Flat

方向 Orientation   (deg)

/

長度 length (mm)

/

副參考面

Secondary Flat

方向 Orientation   (deg)

/

長度 length (mm)

/

倒角

Edge profile

半角 half angle Deg)

22±1°

邊緣類型 /Type

標(biāo)準(zhǔn)倒角

厚度 Thickness (um)

見硅片外包裝標(biāo)注值

/

彎曲度 Bow (um)

<30

/

翹曲度 Warp (um)

<30

/

總厚度變化 TTV (um)

<10

/

總平整度 TIR (um)

<10

/

局部平整度

STIR(um)(15mm*15mm)

<3

/

 

什么是半導(dǎo)體硅片  

硅片又稱硅晶圓片, 是制作集成電路的重要材料,通過對硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手 段,可以制成集成電路和各種半導(dǎo)體器件。硅片是以硅為材料制造的片狀物體,直徑有 6英寸、 8 英寸、 12 英寸、18英寸等規(guī)格。單晶硅是硅的單晶體,是一種比較活潑的非金屬元素,具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)。不同的方向具有不同的性質(zhì),是一種良好的半導(dǎo)材料。純度要求達(dá)到 99.9999%,甚至達(dá)到 99.9999999%,雜質(zhì)的含量降到 10-9的水平。采用西門子法可以制備高純多晶硅,然后以多晶硅為原料,采用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長 出棒狀單晶硅。單晶硅圓片按其直徑主要分為 6 英寸、 8 英寸、 12 英寸及 18 英寸等。

半導(dǎo)體材料分為晶圓制造材料和封裝材料。晶圓制造材料可以進(jìn)一步細(xì) 分為硅片及硅基材料、光掩模板、電子氣體、光刻膠、光刻膠輔助材料、 CMP 拋光材料、工藝化學(xué)品、靶材及其他材料。而封裝材料可以進(jìn)一步 細(xì)分為封裝基板、引線框架、鍵合絲、包封材料、陶瓷基板、芯片粘結(jié) 材料和其他封裝材料。

半導(dǎo)體硅片是全球應(yīng)用最廣泛、最重要的半導(dǎo)體基礎(chǔ)材料,是制造芯片的基本襯底材料,也是唯一貫穿各道芯片前道制程的半導(dǎo)體材料,目前全球半導(dǎo)體市場中,90%以上的芯片和傳感器都是基于硅材料制造而成,其在晶圓制造材料中占比**。


 

 


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