硅片面型參數(shù)Bow，Warp，TTV是芯片制造必須要考慮的因素，十分重要。這三個參數(shù)共同反映了硅片的平面度和厚度均勻性，對于許多芯片制造過程中的關(guān)鍵步驟都有直接影響。

什么是TTV，Bow，Warp？

TTV（Total Thickness Variation）

TTV 是硅片的**厚度和最小厚度之間的差異。這個參數(shù)是用來衡量硅片厚度均勻性的一個重要指標(biāo)。在半導(dǎo)體制程中，硅片的厚度必須在整個表面上非常均勻。通常在硅片上的五個位置進行測量，并計算**差異。最終，這個數(shù)值是判斷硅片質(zhì)量的依據(jù)。實際應(yīng)用中，4inch 硅片TTV一般小于2um，6inch硅片一般小于3um。

BOW

Bow在半導(dǎo)體制造中指的是硅片的彎曲。這個詞可能來源于物體彎曲時形態(tài)的描述，就像弓（bow）的彎曲形狀一樣。Bow的值是通過測量硅片的中心和邊緣之間的**偏差來定義的。這個值通常用微米（μm）表示。4inch硅片的SEMI標(biāo)準(zhǔn)是，Bow<40um.

Warp

Warp是硅片的一個全局特性，表示硅片表面的**偏離平面的距離。它測量的是硅片的最高點與最低點之間的距離。4inch硅片的SEMI標(biāo)準(zhǔn)是，Warp<40um.

TTV,Bow,Warp有何差別？

TTV專注于厚度的變化，而不關(guān)心晶圓的彎曲或扭曲。

Bow專注于整體彎曲，主要考慮中心點與邊緣的彎曲。

Warp更全面，包括整個晶圓表面的彎曲和扭曲。

盡管這三個參數(shù)都與硅片的形狀和幾何特性有關(guān)，但它們衡量和描述的方面各有不同，對半導(dǎo)體制程和晶圓處理的影響也有所區(qū)別。